本系前身為奈米科學及工程學士學位學程（簡稱奈米學士班），以培育跨領域T型人才為核心，創下無數佳績，包括歷屆畢業生國內外頂尖碩博升學高達95%、歷屆大四學生出國交換且均準時畢業達24%、歷屆畢業生出國留學13%及繼續深造博士學位達16%，並於2020年大四學生獲得台積學程大學部通過比例佔全國90%，創下全國之冠記錄。2024年奈米學士班調整更名「半導體工程學系」，下設固態電子組及奈米科學組，將培育更多多元半導體產業人才，除深度學習半導體技術外，也側面著重跨領域跨文化養成。